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PE-ALD 用容量結合プラズマの Q-VT によるシミュレーション を紹介（2024年12月） |
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Importance of C3Hy and C3Hy+ in Modeling of Radio Frequency Methane Plasma： 75th Annual Gaseous Electronics Conferenceで 池田 が発表（2022年10月） |
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An Improved Calculation Scheme of Electron Flow in Propagator Method for Solving the Boltzmann Equation： 75th Annual Gaseous Electronics Conferenceで 小林 が発表（2022年10月） |
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プラズマシミュレーションで活用する輸送係数（swarm parameters）・反応レートの計算（Lookup Table 作成）ツール：BOSPROM の開発（2021年7月） |
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プラズマシミュレーションで活用する反応モデルのデータベース： QDB の App リリース（2021年7月） |
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コロナウィルスのエアロゾル感染シミュレーション（特別WEBコラム 「新型コロナウイルス禍に学ぶ応用物理」への寄稿：2020年7月1日） |
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アテナシスでは，半導体製造装置に関わる実験や計測の経験に加え，装置・反応炉の熱解析，
CVD・プラズマ・エッチング等のシミュレーションから培ったノウハウを生かし，
お客様と一緒に成果を積み重ねるお手伝いを致します．
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