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< Update : August. 2 2021 >

ESI Group CFD Software

アテナシスでは,ESI Group の CFD関連ソフトウェア(流体をベースとしたマルチフィジックスソルバー)のライセンス販売・受託解析・コンサルティングを行います.

CFD-ACE+ : Advanced CFD and Multiphysics Solver

CFD-ACE+ は,一般的な熱流体解析に加え,化学反応や電磁場・構造などの様々な物理化学のモデルを合わせ持ち,それらを連成して解析することを可能にした最初のマルチフィジックスソルバーです.プラズマを含む半導体製造プロセスや電気メッキ,燃料電池やバイオケミストリー,MEMS,といった幅広い産業とその応用分野で利用されています.

参考 : ESI Group CFD Industries Served(外部リンク)

CFD-ACE+ に関する Tips 及び,制限事項等,当社で確認したものや開発元に確認したものに関しては,以下よりご覧頂けます( user 登録が必要です).

Tips and Limitations 例:誘電体損失( dielectric loss ),VOF + Turbulence の組み合わせ,Spray Module に関する制限,Fast Time Stepping( VOF の例),等.

CFD-TOPO : Feature Scale Evolution Solver

主に,半導体製造プロセスに欠かせない成膜(熱CVD・プラズマCVD)やドライエッチングにおける微細な形状の変化をシミュレーションします.CFD-TOPO はレベルセット法(level set methodology)を用いた自動グリッド作成機能を有し,2次元・3次元の解析に対応しています.

CFD-TOPO に関する Tips 及び,制限事項等,manual を見ても分かり難い内容に関し,当社で確認したものや開発元に確認したものに関しては,以下よりご覧頂けます( user 登録が必要です).

Tips and Limitations 例:形状が変化しない場合の確認事項

CFD-FASTRAN : CFD Physics Solver

CFD-FASTRAN は,Mach数が1を超える高圧縮性流体(空力)の分野に適用可能なソルバーで,航空宇宙産業で広く用いられています.アテナシスでは,真空装置内部の気体流れを取り扱う際に利用する場合が御座います.

CFD-FASTRAN に関する Tips 及び,制限事項等,manual を見ても分かり難い内容に関し,当社で確認したものや開発元に確認したものに関しては,以下よりご覧頂けます( user 登録が必要です).

Tips and Limitations 例:液体中の衝撃波の計算

CFD-VIEW : Solution Analysis and Visualization Tool

CFD-VIEW は,CFD-ACE+, CFD-TOPO,CFD-FASTRAN,及び,PAM-FLOW で計算した結果を読み込み,可視化するためのアプリケーションソフトウェアです.DTF と拡張子が基本ですが,その他幾つかの汎用的なファイルフォーマットにも対応しています.

CFD-VIEW に関する Tips 及び,制限事項等,manual を見ても分かり難い内容に関し,当社で確認したものや開発元に確認したものに関しては,以下よりご覧頂けます( user 登録が必要です).

Tips and Limitations 例:1,000,000 ステップを超えた際のアニメーションの実行

その他,プリ・ポスト,計算の自動化・最適化のツールとして,以下のような製品を取り扱います.

CFD-GEOM : Geometry Modeling and Mesh Generation Tool

SimManager Parametric and Optimization Analysis Tool


Bosprom

Bosprom は,当社で開発した新しいソフトウェアです。北海道大学の菅原先生が開発したプロパゲータ法をベースに,複数のガス種にも対応した輸送係数(swarm parameters)や反応レートを計算することができます。

Bolsig+ 等に代表される同様の計算では,二項近似が利用されますが,プロパゲータ法では,より高次の計算が行われ,モンテカルロ法で計算して得られる結果と同様の精度を有します。その一方で,計算時間については,モンテカルロ法で短時間という特徴を有します。

Bosprom によって計算された結果(Lookup Table)は,CFD-ACE+ への取り込みも非常に容易であり,従来の計算結果では不十分だった精度を各段に向上させることが可能です(※程度の差については,問題に依存します)。


Quantemol-N,Q-DB

Quantemol 社の電子衝突断面積データ推算ソフトウェアです.プラズマのシミュレーションで必要となる電子衝突断面積が既存のデータベースに見つからない場合,Quantemol-N を用いて計算が可能です。

Q-DB は,Quantemol 社が提供するデータベースです。単体の分子だけでなく,混合ガスも含まれます。ゴールドメンバーになると有償(一部は無償)で提供するサービスを受けることができます。


CVDSim ( Add-On Module )

アテナシスでは,CVDSim の技術的なサポートを行います.

CVDSimは,STR ( Semiconductor Technology Research Group )によって開発された CVD プロセス専用のアドオンモジュールで,CFD-ACE+ 上でシリコンや化合物半導体の結晶成長( Crystal Growth )シミュレーションを実現し,以下の5つの基本モジュールを準備しています.

■ Nitride Edition
GaN,AlN,AlGaN,InGaN,及び,p-GaN に対応

■ III-V Edition
AlGaAs,GaAs,InGaAlP,InGaAs,InGaP,及び,InP に対応

■ HVPE Edition
GaN, AlGaN,AlN に対応

■ SiC Edition
原料ガスとして,SiH4/C3H8,又は,SiCl4/C3H8 に対応

■ Si Edition
原料ガスとして,DCS,又は,TCS に対応

※ 2014年以降,STR Japan 様が営業窓口となっております。弊社では技術サポートをご提供しております。


お問い合わせは,以下までお願い致します.

 

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