QDB (Quantemol DataBase)

Quantemol Database for plasma simulation

QDB（Quantemol Database）をご利用のお客様には，Global Model を行う option をご提供しております．この機能は，0次元の volume average の計算で，Te や Ne，中性粒子の数密度等を算出するものになります。

オンラインでも可能ですが，アプリを desktop にインストールし，desktop 上での計算も可能です．

プロセスパラメータを変更した際のトレンドを確認し，計算コストの高い 2D・3D の計算前に，方向性を検討することに役立ちます．

以下，SiH4/NH3 の PECVD の計算例をご紹介致します．

1. Set Generation のタブで，gas mixture を指定します．

Fig. 1　Set Generation の画面

2. Chemistry Set のタブで，考慮する species や反応式を確認・編集します．

Fig. 2　Chemistry Set の画面

3．Model Settings のタブで，プロセス条件（圧力や投入電力，ガス温度，装置のサイズ，流量）等を入力し，name をつけて Run します.

Fig. 3　Model Settings の画面

4a. Results のタブに計算結果が出力されます．

Fig. 4　Results の画面（Run の直後）

4b．Results のタブでは，中性粒子やイオン等に絞って最終時刻の結果を表示することも可能です.

Fig. 5　Results の画面（中性粒子の結果）

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