技術支援・サポート

■ Q-VT のサポート，およびコンサルティング

※ 2023年3月，準備中

■ CVD やプラズマプロセスのシミュレーションで必要となる反応モデル・物性値の検討・構築

例：アルゴン，ヘリウム，水素，窒素，酸素，及び空気に関し，熱プラズマ・DCアークプラズマのシミュレーションで必要となるエンタルピー・定圧比熱・粘性係数・熱伝導率・電気伝導率のデータを，24000K まで準備．

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■ BOSPROM を利用した電子スウォームパラメータの計算

計算結果を CFD-ACE+/COMSOL のような汎用のソフトウェアに移植することで，計算精度を上げることが可能です．

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■ 簡易なツール をご紹介します．

　・アレニウスプロットを用いた頻度因子・活性化エネルギーの見積り

　・混合気体の特性と無次元数の見積もり

　また Mathematica の tips に，以下のような計算例を紹介しています．

　・管内の液中高さ（メニスカス）

　・連立微分方程式を解いて得られる逐次反応

　・圧力依存性を考慮した反応レート：Troe の式

■ Door to Reactor Simulation page にて，反応炉シミュレーションのアプローチに関する Tips をご紹介します．

■ 論文から学ぶ page にて，他の方々の論文から参考になると思われる点を取り上げ，ご紹介します．

■ SEAJ（日本半導体製造装置協会）の活動支援を行っていました（活動は終了）．

プラズマシミュレーション[文献31]．及び，形状シミュレーション

■ お問い合わせは，以下までお願い致します．

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