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< Update : Feb. 11 2011 >

ESI Group CFD Software

アテナシスでは,ESI Group の CFD関連ソフトウェア(流体をベースとしたマルチフィジックスソルバー)のライセンス販売・受託解析・コンサルティングを行います.

CFD-ACE+ : Advanced CFD and Multiphysics Solver

CFD-ACE+ は,一般的な熱流体解析に加え,化学反応や電磁場・構造などの様々な物理化学のモデルを合わせ持ち,それらを連成して解析することを可能にした最初のマルチフィジックスソルバーです.プラズマを含む半導体製造プロセスや電気メッキ,燃料電池やバイオケミストリー,MEMS,といった幅広い産業とその応用分野で利用されています.

参考 : ESI Group CFD Industries Served(外部リンク)

CFD-ACE+ に関する Tips 及び,制限事項等,当社で確認したものや開発元に確認したものに関しては,以下よりご覧頂けます( user 登録が必要です).

Tips and Limitations 例:誘電体損失( dielectric loss ),VOF + Turbulence の組み合わせ,Spray Module に関する制限,Fast Time Stepping( VOF の例),等.

CFD-TOPO : Feature Scale Evolution Solver

主に,半導体製造プロセスに欠かせない成膜(熱CVD・プラズマCVD)やドライエッチングにおける微細な形状の変化をシミュレーションします.CFD-TOPO はレベルセット法(level set methodology)を用いた自動グリッド作成機能を有し,2次元・3次元の解析に対応しています.

CFD-TOPO に関する Tips 及び,制限事項等,manual を見ても分かり難い内容に関し,当社で確認したものや開発元に確認したものに関しては,以下よりご覧頂けます( user 登録が必要です).

Tips and Limitations 例:形状が変化しない場合の確認事項

CFD-FASTRAN : CFD Physics Solver

CFD-FASTRAN は,Mach数が1を超える高圧縮性流体(空力)の分野に適用可能なソルバーで,航空宇宙産業で広く用いられています.アテナシスでは,真空装置内部の気体流れを取り扱う際に利用する場合が御座います.

CFD-FASTRAN に関する Tips 及び,制限事項等,manual を見ても分かり難い内容に関し,当社で確認したものや開発元に確認したものに関しては,以下よりご覧頂けます( user 登録が必要です).

Tips and Limitations 例:液体中の衝撃波の計算

CFD-VIEW : Solution Analysis and Visualization Tool

CFD-VIEW は,CFD-ACE+, CFD-TOPO,CFD-FASTRAN,及び,PAM-FLOW で計算した結果を読み込み,可視化するためのアプリケーションソフトウェアです.DTF と拡張子が基本ですが,その他幾つかの汎用的なファイルフォーマットにも対応しています.

CFD-VIEW に関する Tips 及び,制限事項等,manual を見ても分かり難い内容に関し,当社で確認したものや開発元に確認したものに関しては,以下よりご覧頂けます( user 登録が必要です).

Tips and Limitations 例:1,000,000 ステップを超えた際のアニメーションの実行

その他,プリ・ポスト,計算の自動化・最適化のツールとして,以下のような製品を取り扱います.

CFD-GEOM : Geometry Modeling and Mesh Generation Tool

SimManager Parametric and Optimization Analysis Tool


Quantemol-N,Q-DB

Quantemol 社の電子衝突断面積データ推算ソフトウェアです.プラズマのシミュレーションで必要となる電子衝突断面積が既存のデータベースに見つからない場合,Quantemol-N を用いて計算が可能です。

Q-DB は,Quantemol 社が提供するデータベースです。単体の分子だけでなく,混合ガスも含まれます。ゴールドメンバーになると有償(一部は無償)で提供するサービスを受けることができます。


CVDSim ( Add-On Module )

アテナシスでは,CVDSim のライセンス販売とサポートを行います.

CVDSim は,STR ( Semiconductor Technology Research Group )によって開発された CVD プロセス専用のソフトウェアモジュールで,CFD-ACE+ のようなCFDソフトウェア上でシリコンや化合物半導体の結晶成長( Crystal Growth )シミュレーションを実現し,以下の5つの基本モジュールを準備しています.

Nitride Edition
 GaN,AlN,AlGaN,InGaN,及び,p-GaN に対応

III-V Edition
 AlGaAs,GaAs,InGaAlP,InGaAs,InGaP,及び,InP に対応

HVPE Edition
 GaN, AlGaN,AlN に対応

SiC Edition
 原料ガスとして,SiH4/C3H8,又は,SiCl4/C3H8 に対応

Si Edition
 原料ガスとして,DCS,又は,TCS に対応

2014年以降,STR Japan が営業窓口となっております。弊社では,サポートをさせて頂いております。


お問い合わせは,以下までお願い致します.

 

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