☆ CFD-ACE+ のセミナー(6/2)に多数ご参加下さり,ありがとうございました。

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Plasma(CCP)+静磁場のシミュレーション(「放電研究」 第57巻第3号に掲載)

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電子の衝突断面積データを推算するソフトウェア:Quantemol-N のご紹介

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プラズマ・熱CVD のシミュレーションを始める際に参考となる情報源

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CVD・プラズマ・エッチング等のシミュレーションから培ったノウハウを生かし,
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