技術支援・サポート

■ CFD-ACE+・CFD-TOPO をメインにしたサポート・コンサルティング

一般的な熱流体解析

反応炉内のガス流れのシミュレーション・熱輻射を必要とする熱解析

熱CVD(化学気相成長)装置のプロセスシミュレーション

成膜・エッチングを考慮した形状シミュレーション

プラズマ処理を行う装置のプロセスシミュレーション

プラズマ中のスウォームパラメータの計算

その他,流体・物理化学が関与するモデリング・シミュレーション

■ 上記のシミュレーションと併用可能な簡易ツール・user subroutine の作成・提供

例:E/N に依存した衝突周波数,体積力の追加(プラズマアクチュエーターへの応用),等

■ CVD やプラズマプロセスのシミュレーションで必要となる反応モデル・物性値の検討・構築

例:アルゴン,ヘリウム,水素,窒素,酸素,及び空気に関し,熱プラズマ・DCアークプラズマのシミュレーションで必要となるエンタルピー・定圧比熱・粘性係数・熱伝導率・電気伝導率のデータを,24000K まで準備.

電子スウォームパラメータの計算

計算結果を CFD-ACE+ のような汎用のソフトウェアに移植することで,プラズマシミュレーションの適用範囲を広げたり,計算精度を上げることに利用することが可能です.

■ 簡易なツール をご紹介します.

 ・アレニウスプロットを用いた頻度因子・活性化エネルギーの見積り

 ・混合気体の特性と無次元数の見積もり

 また Mathematica の tips に,以下のような計算例を紹介しています.

 ・管内の液中高さ(メニスカス)

 ・連立微分方程式を解いて得られる逐次反応

 ・圧力依存性を考慮した反応レート:Troe の式

Door to Reactor Simulation page にて,反応炉シミュレーションのアプローチに関する Tips をご紹介します.

論文から学ぶ page にて,他の方々の論文から参考になると思われる点を取り上げ,ご紹介します.

SEAJ(日本半導体製造装置協会)の活動支援を行っていました(活動は終了).

プラズマシミュレーション[文献31].及び,形状シミュレーション


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