アルゴンプラズマの電子スウォームパラメータ
  (Electron swarm parameters of plasma)

Ar ガスに対する電子スウォームパラメータの計算例をご紹介します.

Ar の断面積データ( NIFS )を利用し,電子スウォームパラメータを計算してみた例をご紹介致します.用いた断面積は,以下のようなセットです.

cross section for Ar

Ar の断面積

計算条件として,圧力:1 [Torr],温度:300 [K] を仮定しています.

計算結果の横軸の E/N [Td] は,換算電界を意味します.また,横軸に換算電界をとったグラフは,縦横ともに対数をとっており,Log-Log プロットで示しています.

●ドリフト速度( Drift Velocity )

drift velocity (駆動速度)

●拡散係数( Diffusion Coefficient )

Diffusion coefficient (拡散係数)

DL 及び DT は,それぞれ縦拡散係数・横拡散係数を意味します.

●移動度( Mobility )

mobility (移動度)

●電子の平均エネルギー( Electron mean energy )

electron mean energy (電子の平均エネルギー)

●衝突周波数( Electron Collision Frequency )

collision frequency (衝突周波数)

●反応レート( Rate Constant )

reaction rate (反応レート)

SiH4 と比較すると,断面積の違いが特に低 E/N の領域で顕著に現れていると思われます.

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