CVD化学気相成長)シミュレーションモジュール:CVDSim
( Simulation Module for Chemical Vapor Deposition Processes )

CVDSim は,代表的な CVD装置メーカーで利用されている CVDプロセスシミュレーションに特化したソフトウェアです.現在,以下の5つの基本モジュールが準備されています.

■ Nitride Edition
 GaN,AlN,AlGaN,InGaN,及び,p-GaN に対応

■ III-V Edition
 AlGaAs,GaAs,InGaAlP,InGaAs,InGaP,及び,InP に対応

■ HVPE Edition
 GaN, AlGaN,AlN に対応

■ SiC Edition
 原料ガスとして,SiH4/C3H8,又は,SiCl4/C3H8 に対応

■ Si Edition
 原料ガスとして,DCS,又は,TCS に対応

概要,及び,CFD-ACE+ 上での計算例については,順次ご紹介致します.

CVDSim には,以下のような特徴があります.

◆ 独自の database
◆ 重要な species に限定した気相・表面反応の考慮
◆ 準熱平衡を仮定したモデル・kinetic なモデル
◆ 寄生成長の考慮
◆ 気相中で生成するパーティクル( particle ) の考慮
◆ ドーパント( Mg 等)の考慮
◆ 下地となる基板の考慮

CFD-ACE+ で利用可能な Database Manager に,STR が準備した database を読み込ませることにより,species や反応モデルが利用可能となります.

また,表面反応や気相中で生成する cluster 等は,user subroutine を利用して取り込みます.


2014年以降,STR Japan が営業窓口となっております。弊社では,引き続きサポートをさせて頂いておりますが,技術的なご質問等につきましては,弊社にお問い合わせ下さい。

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