アルゴンプラズマの電子スウォームパラメータ（Electron swarm parameters of plasma）
Ar ガスに対する電子スウォームパラメータの計算例をご紹介します．
Ar の断面積データ（ NIFS ）を利用し，電子スウォームパラメータを計算してみた例をご紹介致します．用いた断面積は，以下のようなセットです．
Ar の断面積
計算条件として，圧力：1 [Torr]，温度：300 [K] を仮定しています．
計算結果の横軸の E/N [Td] は，換算電界を意味します．また，横軸に換算電界をとったグラフは，縦横ともに対数をとっており，Log-Log プロットで示しています．
●ドリフト速度（ Drift Velocity ）
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●拡散係数（ Diffusion Coefficient ）
DL 及び DT は，それぞれ縦拡散係数・横拡散係数を意味します．
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●移動度（ Mobility ）
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●電子の平均エネルギー（ Electron mean energy ）
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●衝突周波数（ Electron Collision Frequency ）
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●反応レート（ Rate Constant ）
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SiH4 と比較すると，断面積の違いが特に低 E/N の領域で顕著に現れていると思われます．
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