プラズマ・熱CVD のシミュレーションを始める際に参考となる情報源
( Useful Information to start CVD and plasma simulation )

update : June 12 2012

 プラズマや熱CVDのシミュレーションを始めようとすると,様々なデータを準備する必要があることに気づきます.以下では,弊社が参考になると思った web を紹介致します(弊社が何かを推奨・保障するわけではありませんので,予めご了承下さい).

 必ずしも客観的ではないかもしれませんが,ご覧になる方にとって参考になると思われる内容をコメントしつつ,増やして行く予定です.順不同で,優先順位もありません.また,熱CVD に関するデータベース(レナード-ジョーンズ パラメータ,JANNAF 係数,その他の物性値,中性粒子同士の反応レート,等)についても,少しずつ追加する予定です.ご要望等ありましたら,以下までご意見をお寄せ下さい.


プラズマシミュレーションに関連する情報

[1] プラズマに関する参考書,およびその著者に関するもの

プラズマ原子分子過程ハンドブック

 最後の17章に「データベース概論」が設けられています([2]以下で紹介するものの大半が紹介されています).

Index of /~avp/collision_data

 V. Phelps氏がコンパイル・公開している衝突断面積データです.

Molecular Processes in Plasmas

 Y. Itikawa氏の本です.分子衝突プロセスにウェイトが置かれています.

[2] 衝突断面積等のデータベース

LXcat

 断面積データや輸送係数等,様々なデータをダウンロードしたり,On Line で計算することができます.

NIFS Database

 核融合科学研究所が公開・提供しているデータベースです.

NIST Electron-Impact Cross Section Database - Table of molecules

 Hydrocarbons(CxHy) や Silicon and Germanium Hydrides(SixHy,GexHy),Fluorocarbons(CxFy),Boron Compounds(BClx,BFx),等,半導体製造プロセスで重要なガス種が多く準備されています.

IAEA Atomic Molecular Data Services

Los Alamos Atomic Physics Codes

Bienvenue au Centre de Donnees GAPHYOR

(以下,工事中)

ALADDIN

[3] その他

原子分子データ応用フォーラム(弊社も参加させて頂いております)

 NPO として設立されました.データを生産・提供する側の方々とデータを利用したいと考える側の方々とのマッチングをとることをとることを主たる目的としています.

熱CVD のシミュレーションに関する情報

[1] 気体の物性に関するデータベース

NIST Chemistry WebBook

 比熱(Cp)やエンタルピー•エントロピーのデータを探したい場合,必ず一度はここを確認します。温度に対する多項式近似の形式が JANNAF と少し異なりますが,データを加工すれば JANNAF 係数を求めることも可能です。弊社では,Excel を使って NIST のデータを JANNAF の形式に変換するツールを作成しています。

[2] 反応レート(気体)

NIST Chemical Kinetics Model Database

 例えば,Reactions に移動し,Reactants と Products に一つ以上の化学種を入力し,反応の候補の一覧も確認できます。

NIST Chemical Kinetics Database

 上と同じく NIST 内の page ですが,目的の反応ステップを直接入力可能です。

GRI-Mech

 燃焼に関連するデータが数多く揃っています。

[3] 物質•材料のデータベース(固体を含む)

AIST 分散型熱物性データベース

NIMS 物質•材料データベース

弊社で作成した Excel ツールを参考までにご紹介させて頂きます.

混合気体の特性と無次元数の見積もり